|
Фундаментальные, поисковые и прикладные научные исследования по следующим направлениям:
- развитие перспективных технологий создания элементной базы нано- и микроэлектроники, нано- и микросистемной техники, опто- и акустоэлектроники, фотоники;
- исследование и разработка физико-химических методов получения и анализа новых перспективных функциональных материалов для нано- и микроэлектроники, нано- и микросистемной техники, опто- и акустоэлектроники, фотоники;
- физические основы перспективных методов диагностики структур нано- и микроэлектроники, нано- и микросистемной техники, опто- и акустоэлектроники, фотоники;
- материаловедения полупроводниковых материалов и приборов;
- физические основы рентгеновской оптики и акустооптики, разработка методов рентгеновской спектроскопии, томографии и микроскопии;
- исследование электрических, магнитных и оптических свойств наноразмерных и квантоворазмерных структур с целью поиска новых физических принципов построения элементной базы нано- и микроэлектроники, нано- и микросистемной техники, фотоники;
- разработка и изготовление приборов нано- и микроэлектроники, нано- и микросистемной техники, опто- и акустоэлектроники, фотоники;
- разработка и изготовление датчиков физических величин;
- разработка и изготовление технологического и диагностического оборудования для создания и исследования элементной базы нано- и микроэлектроники на основе разрабатываемых материалов и технологий.
|
