ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ И ТЕХНОЛОГИЯ ФОРМИРОВАНИЯ ПРИБОРНЫХ СТРУКТУР МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ С ПОМОЩЬЮ АТОМНЫХ, ИОННЫХ И МОЛЕКУЛЯРНЫХ ПУЧКОВ.

Макропористый кремний - Очевидно, что любая новая технология должна удовлетворять условию экономической эффективности. Поэтому ориентация на технологию кремниевой микроэлектроники и на кремний, как базовый материал микротопливного элемента, представляется очень перспективной.

Макропористый кремний - это материал, в котором размер пор варьируется от десятых долей микрометра до сотни микрометров. В ИПТМ РАН проводятся исследования и разрабатываются технологии формирования как упорядоченных, так и неупорядоченных макропор, выполняемые в лаборатории ионной технологии в последние годы. Макропористый кремний в сочетании с технологиями микромеханики и микроэлектроники позволяет реализовать все возможные варианты создания микротопливных элементов: биполярный, монолитный (т.е. планарный) и проточный вариант.

В ИПТМ РАН накоплен уникальный опыт работы по созданию макропористого кремния и развитию технологий микроэлектроники и микромеханики. В содружестве с корпорацией "Даймлер Крайслер" на протяжении ряда лет в институте ведутся совместные исследования по применению макропористого кремния в технологии топливных элементов. Концентрация усилий на этом направлении позволит выйти на промышленный уровень разработок новых перспективных источников энергии.