 |
| лаборатория N15 |
|---|
| |
|
Статьи - Казьмирук В.В., Курганов И.Г., Подкопаев А.А., Савицкая Т.Н., "Определение плоскости фокусировки пучка в РЭМ по зависимости контраста сигнала от потенциала фокусирующего электрода", Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования., V, N9, c.61, 2020г.
- Казьмирук В.В., Курганов И.Г., Савицкая Т.Н., "Расчет миниатюрной формирующей линзы высоковольтного электронного литографа", Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования., V, N12, c.89, 2020г.
- Казьмирук В.В., Курганов И.Г., Подкопаев А.А., Савицкая Т.Н., "Оптимизация электронно-оптической системы растрового электронного микроскопа для измерения микро- и нанообъектов", Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования., V, N7, c.36, 2019г.
- Казьмирук В.В., Курганов И.Г., Осипов Н.Н., Подкопаев А.А., Савицкая Т.Н., "ИССЛЕДОВАНИЕ ФОРМИРОВАНИЯ СИГНАЛА, ОБРАЗОВАННОГО ИСТИННО ВТОРИЧНЫМИ ЭЛЕКТРОНАМИ, ПРИ НИЗКОВОЛЬТНОМ РЕЖИМЕ РАБОТЫ РЭМ", Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования., V, N4, c.21, 2017г.
- Казьмирук В.В., Курганов И.Г., Осипов Н.Н., Подкопаев А.А., Савицкая Т.Н., "[Доступ к полному тексту открыт] МИХАИЛ ВАЛЕНТИНОВИЧ КОВАЛЬЧУК (К 70-ЛЕТИЮ СО ДНЯ РОЖДЕНИЯ) 3-6 0 [Доступ к полному тексту открыт] ИССЛЕДОВАНИЕ ФОРМИРОВАНИЯ ВТОРИЧНО-ЭМИССИОННОГО СИГНАЛА ПРИ НИЗКОВОЛЬТНОМ РЕЖИМЕ РАБОТЫ РЭМ", Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования., V, N9, c.7, 2016г.
- Казьмирук в.в., Курганов И.Г., Савицкая Т.Н., "МОДИФИКАЦИЯ НИЗКОВОЛЬТНОЙ ЭЛЕКТРОННО-ЗОНДОВОЙ СИСТЕМЫ", Известия РАН, сер. Физическая, V78, N9, c.1058, 2014г.
- Казьмирук В.В., Курганов И.Г., Савицкая Т.Н., "Регулировка параметров электронно-зондовых систем по картам распределения интенсивности вторично-эмиссионного сигнала", Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования., V, N12, c.31, 2014г.
- V.V. Kazmiruk, I.G. Kurganov, T.N. Savitskaja, "Mask Less Lithography Cluster for Low and Medium Volume Manufacturing", Electrotechnica+Electronica, V49, N5-6, c.284, 2014г.
- Казьмирук В.В., Савицкая Т.Н., "Оптимизация режимов регистрации вторично-эмиссионных сигналов при 2D-метрологии наноструктур", Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования., V, N2, c.1, 2013г.
- Казьмирук В.В., Савицкая Т.Н., "АВТОМАТИЗАЦИЯ РЕЖИМА ЭЛЕКТРОННО-ЗОНДОВОГО МОНИТОРИНГА ДЕФЕКТОВ ШАБЛОНОВ ДЛЯ ИМПРИНТ-ЛИТОГРАФИИ", Известия РАН, сер. Физическая, V76, N9, c.1077, 2012г.
- В.В. Казьмирук, Т.Н. Савицкая, "Разработка формирующей линзы для низковольтных электронно-зондовых систем высокого разрешения", Известия РАН, сер. Физическая, V75, N9, c.1263, 2011г.
- М.Ю. Барабаненков, В.В. Казьмирук, Т.Н. Савицкая, "Разработка методов детектирования сигналов для электронно-оптического in-situ-мониторинга периодических структур", Известия РАН, сер. Физическая, V75, N9, c.1259, 2011г.
- М.Ю.Барабаненков, В.В.Казьмирук, Т.Н.Савицкая, "Разработка метода электрон-оптического in-situ мониторинга периодических структур", Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования., V, N9, c.35, 2010г.
- В.В. Казьмирук, Т.Н. Савицкая, "Погрешности измерений линейных размеров структур при регистрации обратно рассеянных электронов в РЭМ", Известия РАН, сер. Физическая, V74, N7, c.1029, 2010г.
- M.Yu.Barabanenkov, V.V.Kazmiruk, S.Yu.Shapoval, "Method of matrix Riccati equation for nanoshape control of diffraction gratings", Proceedings of SPIE, V7390, N, c.1, 2009г.
- M.Yu.Barabanenkov, V.V.Kazmiruk, "Resonance optical effects and artificial microphotonic electromagnetic materials", ECS Transactions, V23, N1, c.469, 2009г.
- V.V.Kazmiruk, M.Yu.Barabanenkov, "Optimization of e-beam systems for wafer defect inspection and for die-to-database verification", ECS Transactions, V23, N1, c.43, 2009г.
- В. В. Казьмирук, Т. Н. Савицкая, "НОВЫЕ ПРИНЦИПЫ СОЗДАНИЯ МНОГОЛУЧЕВЫХ МИКРОМИНИАТЮРНЫХ ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИХ СИСТЕМ ДЛЯ ДИАГНОСТИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР", Известия РАН, сер. Физическая, V73, N4, c.485, 2009г.
- В. В. Казьмирук, Т. Н. Савицкая, "Определение предельных параметров многолучевых электронно-оптических систем для диагностики полупроводниковых структур", Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования., V10, N, c.37, 2009г.
- Казьмирук В.В., "Сканирующие электронные микроскопы МикроСкан серии МС20.", Известия РАН, сер. Физическая, V72, N11, c.1550, 2008г.
|
