Заведующий лабораторией:
Казьмирук Вячеслав Васильевич 
Основная тема: Разработка основ материаловедения и технологии элементной базы микросистемной техники, включая наноэлектронику и нанооптику.
Содержание проводимых исследований:
- Разработка методов и оборудования электронно-лучевой литографии и микроскопии.
