Заведующий лабораторией:
д.ф.-м.н. Вяткин Анатолий Федорович 
Основная тема: Физические основы и технология формирования приборных структур микро- и наноэлектроники с помощью атомных, ионных и молекулярных пучков.
Содержание проводимых исследований:
- Исследование физических процессов взаимодействия атомных, ионных и молекулярных пучков с твердыми телами с целью определения основных параметров процессов формирования приборных структур микро-, наноэлектроники и микромеханики, зависящих от характеристик этих частиц и от свойств твердых тел.
