Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук  
ОБ ИНСТИТУТЕ   СТРУКТУРА   ИПТМ: ДОКУМЕНТЫ   НАШИ КООРДИНАТЫ   ПЛАНЫ   НАПРАВЛЕНИЯ   УЧЕНЫЙ СОВЕТ   УЧАСТИЕ В ФЦП   ДИССЕРТАЦИОННЫЙ СОВЕТ   КОНКУРСЫ/ВАКАНСИИ   ТОРГИ   АСПИРАНТУРА   ШКОЛЫ И КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   НОВОСТИ   ВНЕШНИЕ КОНКУРСЫ   СОУТ   ПРОТИВОДЕЙСТВИЕ КОРРУПЦИИ   АНТИМОНОПОЛЬНОЕ  
 СТРУКТУРА | ДИРЕКЦИЯ | ЛАБОРАТОРИИ | АСИЦ 

ЛАБОРАТОРИЯ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ МИКРО- И НАНОСТРУКТУР
ПУБЛИКАЦИИ



ENGLISH VERSION


слово,
как прописано:


лаборатория N7
Основная
Персонал
    Статьи
    1. А. А. Деменев, А. В. Ковальчук, Е. А. Полушкин, С. Ю. Шаповал, "ИЗГОТОВЛЕНИЕ МЕТОДОМ ТРЕХМЕРНОЙ ФЕМТОСЕКУНДНОЙ ЛАЗЕРНОЙ СУБМИКРОННОЙ ЛИТОГРАФИИ СПИРАЛЬНЫХ ФАЗОВЫХ ПЛАСТИНОК ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ ПУЧКОВ ФОТОНОВС ОРБИТАЛЬНЫМ УГЛОВЫМ МОМЕНТОМ", Известия РАН, сер. Физическая, V85, N2, c.207, 2021г.
    2. Гармаш В.И., Земляков В.Е., Егоркин В.И., Ковальчук А.В., С.Ю. Шаповал, "Исследование влияния атомарного состава на скорость плазмохимического травления нитрида кремния в силовых транзисторах на основе AlGaN/GaN-гетероперехода", Физика и Техника Полупроводников, V, N8, c.748, 2020г.
    3. Anatoly Kovalchuk, Marina Kovalchuk, Irina Khmyrova, and Sergei Shapoval, "Cavity and contact matching effects in plasma wave terahertz detectors", J Applied Physics, V126, N8, c.084502, 2019г.
    4. Kholopova Yu., Khmyrova I., Larkin S., Zemlyakov V., Egorkin V., Tsatsul'nikov A., Nishidate Y., Shapoval S., "Blue-green InGaN/GaN light-emitting diode with mesh-like top metal electrode", Microelectronic Engineering, V174, NSI, c.80, 2017г.
    5. А.В. Ковальчук, А.А. Митина, Е.А. Полушкин, Э.И. Гальперин, Т.Г. Дюжева, И.А. Семенченко, А.И. Семенченко,С.Ю. Шаповал, "О возможностях и особенностях метода эллипсометрии при исследовании поверхности жидкостей", Научное приборостроение, V26, N4, c.3, 2016г.
    6. D. M. Yermolayev, E. A. Polushkin, A. V. Koval’chuk, S. Yu. Shapoval, K. V. Marem’yanin, V. I. GavrilenkoN. A. Maleev, V. M. Ustinov, V. E. Zemlyakov, V. I. Yegorkin, V. A. Bespalov, V. V. Popov, I. Khmyrova, "Terahertz Response of Tightly Concatenated Two Dimensional InGaAs Field-Effect Transistors Integrated on a Single Chip", Int J High Speed Electronics and Systems, V25, N03n04, c.1640012, 2016г.
    7. Yohei Nishidate, Irina Khmyrova, Julia Kholopova, Evgeny Polushkin, Bogdan Shevchenko, Sergei Shapoval, "Numerical study of light-emitting diode with injected current modulated by designed electrode", Optical Review, V23, N5, c.798, 2016г.
    8. Гальперин Э.И., Дюжева Т.Г., Семененко И.А., Шолохов В.Н., Бердников С.Н., Махотина М.С., Ковальчук А.В., Митина А.А., Полушкин Е.А., Семененко А.И. , Шаповал С.Ю., "О возможностях метода ультразвуковой эластометрии для диагностики хронического панкреатита. Полный факторный эксперимент", Ультразвуковая и функциональная диагностика, V, N2, c.19, 2015г.
    9. D. M. Yermolayev, E. A. Polushkin, S. Yu. Shapoval, V. V. Popov, K. V. Marem’yanin, V. I. Gavrilenko, N. A. Maleev, V. M. Ustinov, V. E. Zemlyakov, V. I. Yegorkin, V. A. Bespalov, A. V. Muravjov,S. L. Rumyantsev, M. S. Shur,, "Detection of Terahertz Radiation by Dense Arrays of InGaAs Transistors", Int J High Speed Electronics and Systems, V24, N1&2, c.23, 2015г.
    10. А. В. Ковальчук, С. Ю. Шаповал, С. С. Лебедев, С. А. Стеблин, А. В. Волосов, Н. И. Каргин, "Применение ИК-Фурье спектрометрии для определения атомарного состава субмикронных слоев нитрида кремния HxSirNzHy", Вестник Нац. исслед. ядерного унив. «МИФИ», V3, N2, c.189, 2014г.
    11. В.И. Гармаш, В.И. Егоркин, В.Е. Земляков, А.В. Ковальчук, С.Ю. Шаповал, "Исследование влияния структуры плазмохимического нитрида кремния на маскирующие свойства", Известия ВУЗов. Электроника, V109, N5, c.33, 2014г.
    12. Irina Khmyrova, Norikazu Watanabe, Julia Kholopova, Anatoly Kovalchuk, Sergei Shapoval, "Light extraction in planar light-emitting diode with nonuniform current injection: model and simulation", Applied Optics, V, N21, c.4734, 2014г.
    13. 1. Irina Khmyrova, Norikazu Watanabe, Julia Kholopova, Anatoly Kovalchuk, and Sergei Shapoval, "Light extraction in planar light-emitting diode with nonuniform current injection: model and simulation", Applied Optics, V53, N21, c.4734, 2014г.
    14. A. Konishi, R. Yamase, I. Khmyrova, Yu. Kholopova, E. Polushkin, A. Kovalchuk, V.Sirotkin, and S. Shapoval, "Analytical model of light-emitting diodes with patterned contact", Optical Review, V20, N2, c.214, 2013г.
    15. Irina Khmyrova, Ryosuke Yamase, Norikazu Watanabe, Takao Maeda, Elena Shestakova, Evgeny Polushkin, Anatoly Kovalchuk, Sergei Shapoval, "Analysis of resonant MEMS based on high-electron mobility transistor-like structure", Physica Status Solidi C, V9, N2, c.399, 2012г.
    16. R. Yamase, T. Maeda, I. Khmyrova, E. Shestakova, E. Polushkin, A. Kovalchuk, and S. Shapoval, "Study of Fringing Effects in Multi-Cantilever HEMT-Based Resonant MEMS", Int. J. Appl. Electromagnetics and Mechanics, V38, N2-3, c.93, 2012г.
    17. К.В. Маремьянин, Д.М. Ермолаев, Д.В. Фатеев, С.В. Морозов, Н.А. Малеев, В.Е. Земляков, В.И. Гавриленко, В.В. Попов, С.Ю. Шаповал, "Широкоапертурный детектор терагерцового излучения на основе транзисторной структуры GaAs/InGaAs со щелевым решеточным затвором большой площади.", Письма в ЖТФ, V36, N8, c.39, 2010г.
    18. Барабаненков М.Ю., Ковальчук А.В. Полушкин Е.А., Сироткин В.В., Холопова Ю.В., Шаповал С.Ю., "Электрооптические характеристики светоизлучающего диода с периодически структурированным контактом", Вестник МГТУ им. Баумана, серия Естественные науки, V33, N2, c.48, 2009г.
    19. М.Ю.Барабаненков, А.В.Ковальчук, Е.А.Полушкин, , В.В.Сироткин, , Ю.В.Холопова С.Ю.Шаповал, "Электрооптические характеристики светоизлучающего диода с периодически структурированным контактом", Вестник МГТУ им. Баумана, серия Естественные науки, V2, N33, c.48, 2009г.
    20. M.Yu.Barabanenkov, V.V.Kazmiruk, S.Yu.Shapoval, "Method of matrix Riccati equation for nanoshape control of diffraction gratings", Proceedings of SPIE, VV7390, NN, c.1, 2009г.
    21. М.Ю. Барабаненков, В.В.Сироткин, Ю.В. Холопова, А.В. Ковальчук, Н.Е. Антонова, Е.А. Полушкин, С.Ю. Шаповал, "Светоизлучающий диод с электродом в виде ленточной дифракционной решетки", Сб. "Лазерная и оптикоэлектронная техника", Изд. БГУ, Минск, V, N11, c.58, 2008г.
    22. М.Ю. Барабаненков, В.В. Сироткин, Ю.В. Холопова, А.В.ковальчук, Н.Е. Антонова, Е.А.Полушкин, С.Ю. Шаповал, "Светоизлучающий диод с электродом в виде ленточной дифракционной решетки.", Сб. "Лазерная и оптикоэлектронная техника", Изд. БГУ, Минск, V, N11, c.58, 2008г.
    23. A. Kovalchuk, G. Beshkov, S. Shapoval, "Dehydrogenation of Low-temperature ECR-plasma Silicon Nitride Films under Rapid Thermal Annealing", Journal of Research in Physics, V31, N1, c.37, 2007г.
    Монографии
    1. D M Yermolayev, E A Polushkin, A V Koval’chuk, S Yu Shapoval, K V Marem’yanin, V I Gavrilenko, N A Maleev, V M Ustinov, V E Zemlyakov, V I Yegorkin, V A Bespalov, V V Popov and I Khmyrova, "FUNDAMENTAL AND APPLIED PROBLEMS OF TERAHERTZ DEVICES AND TECHNOLOGIES. Monograph number 2: Terahertz Response of Tightly Concatenated Two Dimensional InGaAs Field-Effect Transistors Integrated on a Single Chip", World Scientific Publishing Company. Series: Selected Topics in Electronics and Systems - Volume 58, p. 11 - 21, 2017г., печ.л.:0.688
    2. Кабардин О.Ф., "Физика. 7 класс.", Просвящение, 2009г., печ.л.:176.000
           © ИПТМ РАН, 1996-2024