Заведующий лабораторией:
Якимов Евгений Борисович 
телефон: 44161,44182
yakimov@iptm.ru
Основная тема: Материаловедение полупроводниковых материалов Диагностика полупроводниковых и сегнетоэлектрических материалов Электронно-лучевая томография в РЭМ.
Содержание проводимых исследований:
- Исследование природы и свойств водородсодержащих дефектов в Si;
- Исследования полупроводниковых структур на основе кремния, нитрида галлия и узкозонных полупроводников методом наведенного тока в РЭМ;
- Исследование свойств протяженных дефектов в кремнии и нитриде галлия;
- Развитие методов растровой электронной микроскопии и электронно-лучевой томографии;
- Развитие методов диагностики сегнетоэлектриков в РЭМ;
- Диагностика фоторезисторов на основе соединений ртуть-кадмий-теллур методом наведенного тока.
