Кафедра "Физики и технологии наноэлектроники" Факультета физической и квантовой электроники МФТИ была организована в 1990 г. на базе ИПТМ РАН.
ОСНОВНЫЕ НАПРАВЛЕНИЯ ИССЛЕДОВАНИЙ НА КАФЕДРЕ:
- Физические основы технологии формирования структур микро- и наноэлектроники;
- Диагностика структур микро- и наноэлектроники;
- Рентгеновская оптика;
- Технология формирования пленок и их травление;
- Электронные свойства структур нанометровых размеров.
Зав. кафедрой: чл.-корр. РАН, профессор Аристов В.В.
Зам. зав. кафедрой: к.ф.-м.н., доцент Попов В.Г.
Преподаватели:
д.ф.-м.н., профессор Тулин В.А.;
д.ф.-м.н., профессор Якимов Е.Б.;
к.т.н., доцент Шаповал С.Ю.;
к.ф.-м.н., доцент Щелоков И.А.
