Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук  

 ОБЩАЯ | АСПИРАНТУРА | МФТИ | МГУ | МИСИС | КУРСЫ ЛЕКЦИЙ 

ПРОГРАММА КУРСА "ТЕХНОЛОГИЯ НАНОСТРУКТУР"





слово,
как прописано:

Программу составил доцент, к.т.н. Шаповал С.Ю.

  1. Некоторые типы наноструктур. Вертикальные наноструктуры. Латеральные наноструктуры. Полевые каналы. Каналы, сформированные литографией. Меза-структуры, протонная изоляция, вторичная эпитаксия. Самоорганизация. Аэрозольные маски. Перколяции. Зондовые методы. Квантование проводимости при повышенных температурах. Материалы наноструктур.(16 часов)

  2. Эпитаксия. Модели роста. Аналитические методы. Гетероструктуры, дельта-легирование. Условия минимального воздействия на подложку и растущий слой. Плазма в условиях электронного циклотронного и геликонного резонансов. Атомарно-чистые поверхности. Пассивация поверхности. Модификация поверхности. (20 часов)

  3. Формирование латеральных структур. Анизотропное, изотропное травление. (10 часов)

  4. Структура поверхности полупроводников. Исследование поверхности с атомарным разрешением. Доноры на поверхности и в нижних слоях. Смещение атомов на поверхности. (16 часов)

  5. Контакты. Эвтектические контакты. Барьеры. Многослойные барьеры. Дельта-легированные барьеры. (16 часов)

  6. Широкозонные материалы. Транзисторы, источники света. (20 часов)

  7. Излучатели и приемники терагерцового диапазона. (12 часов)

  8. Основы технологии наномеханики. Адгезия. (10 часов)

  9. Микромостики. Неохлаждаемые болометры. (10 часов)

ЛИТЕРАТУРА

N. Inagaki .Plazma surface modification and plasma polymerization.. Technomic Publishing Co.Inc., 1996.
Edited by Kai Chang .Hardbook of microwave and optical components., Vol. 2. Microwave Solid-State Components. John Wiley & Sons, Inc., 1990.
W.N.G. Hitchon .Plasma processes for Semiconductor Fabrication.. Cambridge university press, 1999.