Лаборатория диагностической электронной микроскопии и микротомографии основана в 1988 г. как совместная лаборатория
кафедры физической электроники физического факультета МГУ и Института Проблем Технологии Микроэлектроники
Российской Академии Наук в рамках Научно-Учебного Центра МГУ-ИПТМ.
Заведующий лабораторией: Профессор, д.ф.-м.н. Рау Эдуард Иванович
Адрес:
119899 Москва, Россия, МГУ, Физичкеский факультет, Проф. Рау Э.И.
или:
142432 Москвоская область, Черноголовка, Институт проблем технологий микроэлектроники РАН, Проф. Рау Э.И.
тел.: (7-095) 939-38-95
факс: (7-095) 939-17-87
E-mail:
Rau@pel157a.phys.msu.su
