|
обновлено 5 июля 2023 г.
Иванова Владимира Викторовича
" Исследование эффектов оптической близости и разработка методов их коррекции для критических литографических слоев
технологии производства сбис проектных норм 65 нм"
|
представленная на соискание ученой степени кандидата физ.-мат. наук
по специальности 2.2.2 - "Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств.
Научный руководитель: д-р техн. наук Горнев Евгений Сергеевич Отзыв
Научный консультант: канд. техн. наук Балан Никита Николаевич Отзыв
Официальные оппоненты:
Петросянц Константин Орестович,
доктор технических наук, профессор, ординарный профессор Московского института электроники и математики
им. А.Н.Тихонова Федерального государственного автономного образовательного учреждения высшего образования
"Национальный исследовательский университет "Высшая школа экономики".
Овчинников Вячеслав Алеексеевич, кандидат технических наук, главный специалист
Акционерного общества «Зеленоградский инновационно-технологический центр».
Ведущая организация: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования
«Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет)»
Отзывы на автореферат:
1 ,
|
Диссертационный
совет 24.1.106.01 при ИПТМ РАН
адрес:142432, Московская обл., Черноголовка, ул. Академика Осипьяна 6 |
|---|
|
