Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук  

 СТРУКТУРА | ДИРЕКЦИЯ | ЛАБОРАТОРИИ | АСИЦ 

ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ ЛАБОРАТОРИЯ



ENGLISH VERSION


слово,
как прописано:


лаборатория N5

Заведующий лабораторией:
д.ф.-м.н. Редькин Аркадий Николаевич
телефон: 8(49652)44205, 44143
arcadii@iptm.ru

Основная тема: Разработка основ материаловедения и технологии элементной базы микросистемной техники, включая наноэлектронику и нанооптику, развитие методов технологии и разработка оборудования нанесения пленок и многослойных структур.

Содержание проводимых исследований:

  • Развитие методов технологии и разработка оборудования нанесения пленок и многослойных структур;
  • Развитие технологии получения материалов электроники и микросистемной техники.