Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук  

 СТРУКТУРА | ДИРЕКЦИЯ | ЛАБОРАТОРИИ | АСИЦ 

ГРУППА ФИЗИКИ И ТЕХНОЛОГИИ МЕЗОСКОПИЧЕСКИХ СТРУКТУР



ENGLISH VERSION


слово,
как прописано:


группа N4

Заведующий лабораторией:
Ильин Александр Иванович

Основная тема: Физические принципы создания элементной базы наноэлектроники, элементной базы квантовых компьютеров.

Содержание проводимых исследований:

  • Электронно-лучевая и фото литография. Методы исследования в РЭМ.;
  • Технологии изготовления мезоскопических структур;
  • Магнито-транспортные свойства мезоскопических структур.