Заведующий лабораторией:
Ильин Александр Иванович 
Основная тема: Физические принципы создания элементной базы наноэлектроники, элементной базы квантовых компьютеров.
Содержание проводимых исследований:
- Электронно-лучевая и фото литография. Методы исследования в РЭМ.;
- Технологии изготовления мезоскопических структур;
- Магнито-транспортные свойства мезоскопических структур.