Заведующий лабораторией:
Марченко Виктор Алексеевич 
телефон: 44135
Основная тема: Разработка основ материаловедения и технологии элементной базы микросистемной техники, включая наноэлектронику и нанооптику, развитие методов технологии и разработка оборудования нанесения пленок и многослойных структур.
Содержание проводимых исследований:
- Магнетронное напыление в разнообразных модификациях;
- Характеристики плазмы, физические процессы взаимодействия её с мишенями и растущими поверхностями пленок;
- Процессы в газовой среде, поверхностные реакции, в т. ч. ионно-стиммулированные;
- Методы послойного анализа пленочных структур, основанные на оже-спектроскопии с ионным профилированием;
- Квантовые эффекты и флуктуации в мезоскопических сверхпроводящих пленочных структурах.
