Заведующий лабораторией:
Ходос Игорь Иванович 
телефон: 44193
Основная тема: Разработка основ материаловедения и технологии элементной базы микросистемной техники, включая наноэлектронику и нанооптику. Развитие физических методов исследования кристаллов, пленок и структур: электронно-микроскопических, рентгеновских (включая томографию), оптических и акустических.
Содержание проводимых исследований:
- Электронно-микроскопическое исследование атомной структуры и дефектов полупроводниковых материалов, пленок на их основе;
- Исследование атомной структуры высокотемпературных сверхпроводников;
- Разработка методов высоковольтной электронной литографии.
