Заведующий лабораторией:
д.ф.-м.н. Рощупкин Дмитрий Валентинович 
телефон: 8(49652)44058
rochtch@iptm.ru
Основная тема: Разработка основ материаловедения и технологии элементной базы микросистемной техники, включая наноэлектронику и нанооптику. Развитие физических методов исследования кристаллов, пленок и структур: электронно-микроскопических, рентгеновских (включая томографию), оптических и акустических.
Содержание проводимых исследований:
- Диагностика полей поверхностных акустических волн (ПАВ) методами рентгеновской дифрактометрии;
- Исследование структурного совершенства реальных пьезоэлектрических и сегнетоэлектрических кристаллов;
- Рентгеновская акустооптика на приборах ПАВ;
- Исследование распространения объемных и поверхностных акустических волн в твердых телах методами растровой электронной микроскопии (РЭМ);
- Исследование стационарных полей объемных и поверхностных акустических волн в твердых телах методом рентгеновской топографии;
- Изготовление и исследование рентгенооптических свойств многоуровневых дифракционных решеток и зонных пластинок скользящего падения;
- Рентгеновская сканирующая микроскопия высокого разрешения для микрофлуоресцентного анализа элементного состава материалов микроэлектроники;
- Исследование кинетических процессов, протекающих при ионно-стимулированном микроструктурировании кремния;
- Исследование оптических свойств двумерных периодических дискретных сред (двумерных фотонных структур);
- Дифракционная рентгеновская оптика скользящего падения.
