ЛАБОРАТОРИЯ ТЕОРЕТИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ

Заведующий лабораторией:
Сироткин Вадим Владимирович

Основная тема: Разработка основ материаловедения и технологии элементной базы микросистемной техники, включая наноэлектронику и нанооптику. Развитие физических методов исследования кристаллов, пленок и структур: электронно-микроскопических, рентгеновских (включая томографию), оптических и акустических.

Содержание проводимых исследований:

• Создание теоретических основ диагностики полупроводниковых структур методами растровой электронной микроскопии;
• Создание теоретических основ нанолитографии, включая технологию "впечатывания";
• Развитие и исследование возможностей метода ионной литографии, включающем экспонирование резиста;
• Разработка, создание и исследование свойств многоканальных коллиматоров сложной геометрии (конфокальных, параллельных, составных) для рентгеновского флуоресцентного анализа, радионуклидной диагностики, PET и SPECT томографии.