 |
лаборатория N1 |
|  |
|
Заведующий лабораторией: Сироткин Вадим Владимирович 
Основная тема: Разработка основ материаловедения и технологии элементной базы микросистемной техники, включая наноэлектронику и нанооптику. Развитие физических методов исследования кристаллов, пленок и структур: электронно-микроскопических, рентгеновских (включая томографию), оптических и акустических.
Содержание проводимых исследований:
- Создание теоретических основ диагностики полупроводниковых структур методами растровой электронной микроскопии;
- Создание теоретических основ нанолитографии, включая технологию "впечатывания";
- Развитие и исследование возможностей метода ионной литографии, включающем экспонирование резиста;
- Разработка, создание и исследование свойств многоканальных коллиматоров сложной геометрии (конфокальных, параллельных, составных) для рентгеновского флуоресцентного анализа, радионуклидной диагностики, PET и SPECT томографии.
|