Заведующий лабораторией:
Основная тема: Разработка основ материаловедения и технологии элементной базы микросистемной техники, включая наноэлектронику и нанооптику. Развитие физических методов исследования кристаллов, пленок и структур: электронно-микроскопических, рентгеновских (включая томографию), оптических и акустических.
Содержание проводимых исследований:
- Разработка имплантационной технологии получения структур кристалл на изоляторе (КНЕ);
- Разработка микро и оптоэлектронных приборов на их основе.
