Заведующий лабораторией:
д.ф.-м.н. Зайцев Сергей Иванович 
телефон: 4-42-14
zaitsev@ipmt-hpm.ac.ru
Основная тема: Разработка основ материаловедения и технологии элементной базы микросистемной техники, включая наноэлектронику и нанооптику. Развитие физических методов исследования кристаллов, пленок и структур: электронно-микроскопических, рентгеновских (включая томографию), оптических и акустических.
Содержание проводимых исследований:
- Создание теоретических основ нанолитографии, включая технологию "впечатывания";
- Создание теоретических основ диагностики полупроводниковых структур методами растровой электронной микроскопии.
