Внебюджетные проекты и Коммерческие предложения

  1. Радиационностойкие материалы и приборы микроэлектроники
  2. Выращивание кристаллов с заданными характеристиками
  3. Характеризация структурных, химических, оптических и электрических свойств материалов и приборов микроэлектроники
  4. Разработка уникальных электрофизических методов электронных полупроводниковых приборов
  5. Рентгенооптические элементы
Производственные возможности
Наименование продукции оборудование
1.

2.
Дифракционные решетки скользящего падения;

Линейные зонные пластинки Френеля скользящего падения
Изготовление:
фотолитография
Диагностика:
Рентгеновский дифрактометр
Атомно-силовой микроскоп
Электронный микроскоп
3.

4.

5
Френелевские линзы скользящего падения (двумерная фокусировка)

Дифракционные решетки для мягкого рентгена

Брэгг-френелевские линзы
Изготовление:
Электронно-лучевая литография на длине ~20 мм
Диагностика:
Рентгеновский дифрактометр
Атомно-силовой микроскоп
Электронный микроскоп
6.

7.
Периодически поляризованные ниобат и танталат лития (PPLN/PPLT)

Оптические V-образные волноводы
Изготовление:
Электронно-лучевая литография
Диагностика:
Электронный микроскоп
8.

9.
Эталоны монокристаллов (кубики)

Оптические модуляторы
Изготовление:
Ориентировка
Резка
Шлифовка
Полировка
Диагностика:
Рентгеновский дифрактометр
10 Оптические модуляторы Изготовление:
Ориентировка
Резка
Шлифовка
Полировка
фотолитография
корпусирование
Диагностика:
Прибор для исследования АЧХ
Рентгеновский дифрактометр