№ | Наименование продукции | оборудование |
1.2. | Дифракционные решетки скользящего падения; Линейные зонные пластинки Френеля скользящего падения | Изготовление: |
фотолитография | ||
Диагностика: | ||
Рентгеновский дифрактометр | ||
Атомно-силовой микроскоп | ||
Электронный микроскоп | ||
3.4.5 | Изготовление: | |
Электронно-лучевая литография на длине ~20 мм | ||
Диагностика: | ||
Рентгеновский дифрактометр | ||
Атомно-силовой микроскоп | ||
Электронный микроскоп | ||
6.7. | Изготовление: | |
Электронно-лучевая литография | ||
Диагностика: | ||
Электронный микроскоп | ||
8.9. | Эталоны монокристаллов (кубики) Оптические модуляторы | Изготовление: |
Ориентировка | ||
Резка | ||
Шлифовка | ||
Полировка | ||
Диагностика: | ||
Рентгеновский дифрактометр | ||
10 | Оптические модуляторы | Изготовление: |
Ориентировка | ||
Резка | ||
Шлифовка | ||
Полировка | ||
фотолитография | ||
корпусирование | ||
Диагностика: | ||
Прибор для исследования АЧХ | ||
Рентгеновский дифрактометр |