Рентгеновский микрофлуоресцентный микроскоп
Позволяет исследовать распределение состава в материалах, электрически активных дефектов.
- Источник рентгеновского излучения
- Поликапиллярная полулинза
- Электрод
- Исследуемый объект
- Система сканирования на базе PI пьезомоторов
- Амперметр
- PC
- Черный ящик
- Твердотельный Ge детектор