Растровый электронный микроскоп JSM-840 (JEOL) (литография)
Оборудован аппаратным комплексом управления электронным пучком Nanomaker.
Технические характеристики
| Ускоряющее напряжение, кВ | 0,2 – 40 |
| Максимальное разрешение, нм | 20 |
| Детекторы | вторичных электронов, обратно отраженных электронов |
| Максимальный размер образца, мм | 100x100x10 |