Атомно-силовой микроскоп ИПТМ РАН
Атомно-силовой микроскоп (АСМ), изготовленный в ИПТМ РАН, предназначен
для получения изображений поверхности с высоким пространственным разрешением,
измерения линейных размеров элементов топологии микро- и нанорельефа
поверхности твердых тел, наноструктур и биологических объектов, а также для
диагностики локальных физических свойств.
Технические характеристики
| Поле сканирования | до 20x20 мкм |
| Высота измеряемого рельефа | до 2 мкм |
| Горизонтальное разрешение | ~ 5 нм |
| Вертикальное разрешение | ~ 0,1 нм |
| Нелинейность | ~ 0,9% |
| Программное обеспечение | NanoMaker на базе Proxy for Windows |
Разработано программное обеспечение NanoMaker для АСМ на базе Proxy for Windows.
Вместе с Proxy for Windows (NanoMaker) АСМ позволяет:
- производить начальный подвод зонда к поверхности образца,
- задавать силу прижима зонда к поверхности образца,
- подавать напряжение смещения на образец (от -5 до +5 В),
- задавать поле сканирования,
- перемещать центр изображения (и, соответственно, поле сканирования),
- получать топографические изображения поверхности,
- изменять направление сканирования,
- измерять латеральные и вертикальные (глубина) размеры объектов,
- получать сечение топографии под любым углом.