Лаборатория ионной технологии

Заведующий лабораторией: Вяткин Анатолий Фёдорович +7 (496) 524-40-75

Основная тема: Физические основы и технология формирования приборных структур микро- и наноэлектроники с помощью атомных, ионных и молекулярных пучков.

Содержание проводимых исследований:

• Исследование физических процессов взаимодействия атомных, ионных и молекулярных пучков с твердыми телами с целью определения основных параметров процессов формирования приборных структур микро-, наноэлектроники и микромеханики, зависящих от характеристик этих частиц и от свойств твердых тел.