Основная тема: Исследование физических основ и разработка технологии элементной базы СВЧ электроники
Содержание проводимых исследований:
Физика сверхвысокочастотной плазмы в условиях электронного циклотронного резонанса и ее применение в технологии наноэлектроники (совместно с ЭЗНП РАН) для прецизионного травления, осаждения тонких слоев и эпитаксии, включая разработку и изготовление промышленного ЭЦР-плазменного оборудования наноэлектроники;
Исследование физических основ приборов и интегральных схем на основе широкозонных материалов;
Транзисторные структуры на полимерных материалах (в сотрудничестве с ИФТТ РАН), создание сухих адгезивов (в сотрудничестве с Манчестерским университетом).