Лаборатория эпитаксиальных микро- и наноструктур

Заведующий лабораторией: Шаповал Сергей Юрьевич

Основная тема: Исследование физических основ и разработка технологии элементной базы СВЧ электроники

Содержание проводимых исследований:

  • Физика сверхвысокочастотной плазмы в условиях электронного циклотронного резонанса и ее применение в технологии наноэлектроники (совместно с ЭЗНП РАН) для прецизионного травления, осаждения тонких слоев и эпитаксии, включая разработку и изготовление промышленного ЭЦР-плазменного оборудования наноэлектроники;
  • Исследование физических основ приборов и интегральных схем на основе широкозонных материалов;
  • Транзисторные структуры на полимерных материалах (в сотрудничестве с ИФТТ РАН), создание сухих адгезивов (в сотрудничестве с Манчестерским университетом).