Заведующий лабораторией: Корепанов Виталий Игоревич +7 (496) 524-40-55
Основная тема: Разработка основ материаловедения и технологии элементной базы микросистемной техники, включая наноэлектронику и нанооптику, развитие методов технологии и разработка оборудования нанесения пленок и многослойных структур.
Содержание проводимых исследований: