Группа физики и технологии мезоскопических структур

Заведующий лабораторией: Ильин Александр Иванович +7 (496) 524-40-40

Основная тема: Физические принципы создания элементной базы наноэлектроники, элементной базы квантовых компьютеров.

Содержание проводимых исследований:

• Электронно-лучевая и фото литография. Методы исследования в РЭМ.;
• Технологии изготовления мезоскопических структур;
• Магнито-транспортные свойства мезоскопических структур.