Лаборатория тонких пленок

Заведующий лабораторией: Марченко Виктор Алексеевич +7 (496) 524-41-35

Основная тема: Разработка основ материаловедения и технологии элементной базы микросистемной техники, включая наноэлектронику и нанооптику, развитие методов технологии и разработка оборудования нанесения пленок и многослойных структур.

Содержание проводимых исследований:

• Магнетронное напыление в разнообразных модификациях;
• Характеристики плазмы, физические процессы взаимодействия её с мишенями и растущими поверхностями пленок;
• Процессы в газовой среде, поверхностные реакции, в т. ч. ионно-стиммулированные;
• Методы послойного анализа пленочных структур, основанные на оже-спектроскопии с ионным профилированием;
• Квантовые эффекты и флуктуации в мезоскопических сверхпроводящих пленочных структурах.