Лаборатория просвечивающей электронной микроскопии

Заведующий лабораторией: Ходос Игорь Иванович +7 (496) 524-41-93

Основная тема: Разработка основ материаловедения и технологии элементной базы микросистемной техники, включая наноэлектронику и нанооптику. Развитие физических методов исследования кристаллов, пленок и структур: электронно-микроскопических, рентгеновских (включая томографию), оптических и акустических.

Содержание проводимых исследований:

• Электронно-микроскопическое исследование атомной структуры и дефектов полупроводниковых материалов, пленок на их основе;
• Исследование атомной структуры высокотемпературных сверхпроводников;
• Разработка методов высоковольтной электронной литографии.