Лаборатория растровой электронной микроскопии

Заведующий лабораторией: Казьмирук Вячеслав Васильевич

Основная тема: Разработка основ материаловедения и технологии элементной базы микросистемной техники, включая наноэлектронику и нанооптику.

Содержание проводимых исследований:

  • Разработка методов и оборудования электронно-лучевой литографии и микроскопии.