Лаборатория локальной диагностики полупроводниковых материалов

Заведующий лабораторией: Якимов Евгений Борисович +7 (496) 524-41-61 +7 (496) 524-41-82

Основная тема: Материаловедение полупроводниковых материалов Диагностика полупроводниковых и сегнетоэлектрических материалов Электронно-лучевая томография в РЭМ.

Содержание проводимых исследований:

• Исследование природы и свойств водородсодержащих дефектов в Si;
• Исследования полупроводниковых структур на основе кремния, нитрида галлия и узкозонных полупроводников методом наведенного тока в РЭМ;
• Исследование свойств протяженных дефектов в кремнии и нитриде галлия;
• Развитие методов растровой электронной микроскопии и электронно-лучевой томографии;
• Развитие методов диагностики сегнетоэлектриков в РЭМ;
• Диагностика фоторезисторов на основе соединений ртуть-кадмий-теллур методом наведенного тока.