Лаборатория рентгеновской акустооптики

Заведующий лабораторией: Рощупкин Дмитрий Валентинович +7 (496) 524-40-58

Основная тема: Разработка основ материаловедения и технологии элементной базы микросистемной техники, включая наноэлектронику и нанооптику. Развитие физических методов исследования кристаллов, пленок и структур: электронно-микроскопических, рентгеновских (включая томографию), оптических и акустических.

Содержание проводимых исследований:

• Диагностика полей поверхностных акустических волн (ПАВ) методами рентгеновской дифрактометрии;
• Исследование структурного совершенства реальных пьезоэлектрических и сегнетоэлектрических кристаллов;
• Рентгеновская акустооптика на приборах ПАВ;
• Исследование распространения объемных и поверхностных акустических волн в твердых телах методами растровой электронной микроскопии (РЭМ);
• Исследование стационарных полей объемных и поверхностных акустических волн в твердых телах методом рентгеновской топографии;
• Изготовление и исследование рентгенооптических свойств многоуровневых дифракционных решеток и зонных пластинок скользящего падения;
• Рентгеновская сканирующая микроскопия высокого разрешения для микрофлуоресцентного анализа элементного состава материалов микроэлектроники;
• Исследование кинетических процессов, протекающих при ионно-стимулированном микроструктурировании кремния;
• Исследование оптических свойств двумерных периодических дискретных сред (двумерных фотонных структур);
• Дифракционная рентгеновская оптика скользящего падения.