Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук  
ОБ ИНСТИТУТЕ   СТРУКТУРА   ИПТМ: ДОКУМЕНТЫ   НАШИ КООРДИНАТЫ   ПЛАНЫ   НАПРАВЛЕНИЯ   УЧЕНЫЙ СОВЕТ   УЧАСТИЕ В ФЦП   ДИССЕРТАЦИОННЫЙ СОВЕТ   КОНКУРСЫ/ВАКАНСИИ   ТОРГИ   ОБРАЗОВАНИЕ   ШКОЛЫ И КОНФЕРЕНЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ РНФ   СЕМИНАРЫ   НОВОСТИ   ВНЕШНИЕ КОНКУРСЫ   СОУТ   ПРОТИВОДЕЙСТВИЕ КОРРУПЦИИ   АНТИМОНОПОЛЬНЫЙ КОМПЛАЕНС  
 КУРС РЭМ | АСПИРАНТУРА:ДОКУМЕНТЫ | ПОСТУПЛЕНИЕ В ВУЗ ONLINE 

УСОВЕРШЕНСТВОВАННАЯ ДОПОЛНИТЕЛЬНАЯ ПРОФЕССИОНАЛЬНАЯ ПРОГРАММА ПОВЫШЕНИЯ КВАЛИФИКАЦИИ
«РАСТРОВАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ И СТРУКТУР»,
РАЗРАБОТАННАЯ В РАМКАХ ВЫПОЛНЕНИЯ ОКР
«РАЗРАБОТКА УНИВЕРСАЛЬНОГО РАСТРОВОГО ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА»





слово,
как прописано:


ТЕМЫ ЛЕКЦИЙ
Растровая электронная микроскопия полупроводниковых материалов и структур

27.02.2026 г. - 15.05.2026 г., Московская обл., г. Черноголовка, ИПТМ РАН

pdf версия

Лекторы

Главный научный сотрудник лаборатории N14, д.ф.-м.н. Якимов Е.Б.
Заведующий лабораторией N15, к.ф.-м.н. Казьмирук В.В.

Темы лекций
  1. Растровый электронный микроскоп. Казьмирук В.В.
  2. Взаимодействие ускоренных электронов с твердым телом. Якимов Е.Б.
  3. Режимы вторичных и обратно отраженных электронов. Якимов Е.Б.
  4. Метод наведенного тока (EBIC). Якимов Е.Б.
  5. Метод катодолюминесценции. Якимов Е.Б.
  6. Рентгеновский микроанализ. Якимов Е.Б.
  7. Дифракция обратно отраженных электронов (EBSD) Каналирование. Якимов Е.Б.
  8. Влияние электронного пучка РЭМ на свойства материалов. Якимов Е.Б.
  9. Формирование и применение вторично эмиссионных сигналов в РЭМ. Казьмирук В.В.
  10. Специализированные электронно-лучевые системы для микроэлектроники. Казьмирук В.В.
           © ИПТМ РАН, 1996-2026