Лаборатория рентгеновской акустооптики
Разработка основ материаловедения и технологии элементной базы микросистемной техники, включая наноэлектронику и нанооптику
Содержание проводимых исследований:
• - Диагностика полей поверхностных акустических волн (ПАВ) методами рентгеновской дифрактометрии.
• - Рентгеновская акустооптика на приборах ПАВ.
• - Исследование структурного совершенства реальных пьезоэлектрических и сегнетоэлектрических кристаллов.
• - Исследование распространения объемных и поверхностных акустических волн в твердых телах методами растровой электронной микроскопии (РЭМ).
• - Исследование стационарных полей объемных и поверхностных акустических волн в твердых телах методом рентгеновской топографии.
• - Исследование кинетических процессов, протекающих при ионно-стимулированном микроструктурировании кремния.
• - Исследование оптических свойств двумерных периодических дискретных сред (двумерных фотонных структур).
• - Дифракционная рентгеновская оптика скользящего падения.
• - Рентгеновская сканирующая микроскопия высокого разрешения для микрофлуоресцентного анализа элементного состава материалов микроэлектроники.
