Заведующий лабораторией:
к.ф.-м.н. Сироткин Вадим Владимирович 
Основная тема: Разработка основ материаловедения и технологии элементной базы микросистемной техники, включая наноэлектронику и нанооптику. Развитие физических методов исследования кристаллов, пленок и структур: электронно-микроскопических, рентгеновских (включая томографию), оптических и акустических.
Содержание проводимых исследований:
- Разработка методов моделирования для размерных задач микроэлектроники;
- Развитие методов рентгеновской и электронно-лучевой микротомографии.
