Заведующий лабораторией:
Основная тема: Разработка основ материаловедения и технологии элементной базы микросистемной техники, включая наноэлектронику и нанооптику. Развитие физических методов исследования кристаллов, пленок и структур: электронно-микроскопических, рентгеновских (включая томографию), оптических и акустических.
Содержание проводимых исследований:
- Изучение физических закономерностей взаимодействия плазмы с твёрдым телом (металлы, полупроводники, диэлектрики) и разработка соответствующих технологических процессов;
- Разработка СВЧ плазмохимических лабораторных установок и исследование их технологических возможностей.
