Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук  

 СТРУКТУРА | ДИРЕКЦИЯ | ЛАБОРАТОРИИ | АСИЦ 

ГРУППА ФОТОАКУСТИЧЕСКИХ МЕТОДОВ ДИАГНОСТИКИ





слово,
как прописано:


группа N16

Заведующий лабораторией:
Еременко Валентин Григорьевич
телефон: 8-(496)52-44012, 44-012,44-021

Основная тема: Материаловедение и диагностика полупроводниковых материалов и структур.

Содержание проводимых исследований:

  • Модулированное оптическое отражение;
  • Выявление структурных дефектов методом фототравления.